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摘要:GaN外延技术取得显著进展。在材料质量、性能及制备工艺方面取得重要突破,如高结晶质量、低缺陷密度的GaN材料的成功制备。该技术正朝着低成本、大面积、高温高功率器件应用等方向不断发展。动态研究显示,GaN外延技术...